实验室净化工程中洁净车间的温度空气相对湿度主要依据：
实验室净化工程中洁净车间的温度空气相对湿度主要是依据加工工艺规定来确立，但在充分考虑加工工艺规定的标准下，应充分考虑人的舒适感感。伴随着着实验室净化工程中洁净车间气体洁净室等级规定的提升，出現了加工工艺对温度空气相对湿度的规定也愈来愈严的发展方向。试验室洁净工程实际加工工艺对溫度的规定之后也要例举，但做为总的标准看，因为加工精度愈来愈细致，因此对溫度起伏范畴的规定愈来愈小。比如在产业化集成电路芯片集成ic芯片生产生产加工的光刻工艺曝出加工工艺中，做为掩膜板原材料的夹层玻璃与硅单晶的线膨胀系数的差规定愈来愈小。直徑100um的硅单晶，溫度升高1度，造成了0.24um线形膨涨，因此尽可能有±0.1度的温控，除此之外规定气体空气湿度值一般较低，由于人流汗之后，对商品将有环境污染，十分是怕钠的半导体元器件生产流水线，实验室净化工程中洁净车间溫度不适合超出25度，气体空气湿度过高造成的难题许多。
